一、背靶材料

無氧銅(OFC)– 目(mu)前最常使(shi)用(yong)的作背靶的材(cai)料是無氧銅，因為無氧銅具有良好(hao)的導電性和(he)導熱性，而且比較容易機械加工。 如果保養適當，無氧銅背靶可以重復使(shi)用(yong)10次(ci)甚至更多。 

鉬(Mo)– 在某(mou)些(xie)(xie)使用條件(jian)比較特殊的(de)情(qing)況(kuang)下(xia)，如需(xu)要進行高(gao)溫帖合的(de)條件(jian)下(xia)，無(wu)氧(yang)化(hua)銅容易被氧(yang)化(hua)和發生(sheng)翹(qiao)曲, 所以會使用金屬鉬為背(bei)靶材(cai)料或某(mou)些(xie)(xie)靶材(cai)如陶瓷甚(shen)至(zhi)某(mou)些(xie)(xie)金屬靶材(cai)的(de)熱(re)膨(peng)脹系數無(wu)法與無(wu)氧(yang)銅匹(pi)配，同樣也需(xu)要使用金屬鉬作為背(bei)靶材(cai)料。 

不銹(xiu)鋼管(guan)(guan)(SST)– 目(mu)前最常使用(yong)不銹(xiu)鋼管(guan)(guan)作(zuo)為(wei)旋轉靶材的背管(guan)(guan)，因為(wei)不銹(xiu)鋼管(guan)(guan)具有良好的強度(du)和導熱(re)性而且(qie)非常經濟

二、背靶重復使用

大部分背靶可以(yi)重復(fu)使用，尤其是采(cai)用金屬銦進(jin)行帖合的比(bi)較容(rong)易進(jin)行清潔和重新使用。如果(guo)是采(cai)用其他帖合劑(ji)（包(bao)括環氧樹脂）則可能(neng)需要采(cai)用機(ji)械處理的方式對背靶表面處理后才能(neng)重復(fu)使用。  

當我(wo)們(men)收(shou)到用戶提(ti)供(gong)的(de)(de)(de)已使用過的(de)(de)(de)背(bei)靶(ba)(ba)后，我(wo)們(men)會首先進(jin)行(xing)卸靶(ba)(ba)處理（如適(shi)用）并(bing)且(qie)對(dui)背(bei)靶(ba)(ba)進(jin)行(xing)完全檢查(cha)，檢查(cha)的(de)(de)(de)重點(dian)包括背(bei)靶(ba)(ba)的(de)(de)(de)平(ping)整度，完整性(xing)及密封性(xing)等。我(wo)們(men)會通(tong)知用戶對(dui)背(bei)靶(ba)(ba)的(de)(de)(de)檢查(cha)結果(guo)，如我(wo)們(men)發(fa)現有(you)需要維修的(de)(de)(de)地(di)方會書面(mian)通(tong)知客戶并(bing)提(ti)供(gong)維修報價

三、包裝和運輸(shu)

所有已貼合靶材包裝(zhuang)(zhuang)在真空密封塑(su)料袋中，并附(fu)有防潮劑。外包裝(zhuang)(zhuang)一般為木(mu)箱，四周(zhou)有防撞(zhuang)層，以保(bao)護(hu)靶材和(he)背靶避免在運輸和(he)儲存(cun)過(guo)程中發生損壞。