鉬靶材主要用于平面顯示行業,屬于鉬金屬制品生產鏈最頂端產品新靶材含有與刀具及模具等的母材的密著性高、且潤滑性出色的鉬。因此可省去用于提高密著性的襯底用靶材,降低成本。一般情況下,高硬度覆膜與母材的物理特性不同,會在界面產生過大應力,容易剝離。為了解決這一問題,原來大多要形成使用碳化鎢及鉻等靶材的襯底層,提高密著性。
硬質覆膜如果是含有鉬單一金屬層的、與氮化鈦(TiN)的混合組織,硬度低的鉬往往會導致整體硬底下降。因此,兩公司運用大同特殊鋼的懸浮感應熔爐(LIF),確立了制造擁有鈦和鉬的均勻金屬組織的固溶體型合金靶材的工藝。還通過使用由該工藝制造的靶材,實現了高硬度的鉬鈦合金覆膜。
鉬靶材主要用于平面顯示行業,屬于鉬金屬制品生產鏈最頂端產品,技術含量高、生產難度大。金鉬股份板材分公司面對國內外的技術封鎖,在沒有技術參數、沒有有效資料、沒有生產經驗可借鑒的情況下,全體員工齊心協力,從零開始,逐項攻克五大技術難關、150余項技術難題,不斷摸索、總結完善,終于自主研發、生產出具有完全知識產權的4.5代、5.0代、5.5代靶材,產品規格一次一次刷新紀錄。僅此一項為金鉬股份板材分公司節約資金1000余萬元。
以目前面板技術的發展而言,超高解析度(UHD 4K2K)的產品將愈來愈普及,而臺灣面板業者是這項技術的領導先趨。因應這項技術,電晶體必須做得更細緻,唯有穩定性佳、純度更高與特性優異的鉬濺鍍靶材,才能協助客戶達到這項需求,然而這並不是一項容易的任務。
在薄膜材料的領域,PLANSEE是臺灣面板產業的最佳夥伴,以鉬濺鍍靶材而言,PLANSEE百分百的一條龍自製生產線,是唯一能保證99.97%以上高純度與高品質的供應商,且已廣泛使用在UHD 4K2K的產品。